Modeling of nanostructures with complex source and drain
62
0
0
Full text
(2) "!$#%& (')*+ , .-/+
(3) 0"21324 5768:9<;(=>?8/@BA ;8DCE8 F GIHJLKNMPO)Q GRSO)T2O)GUWVYX[Z)\VYZ)X]J^U._ M VY`a\&GcbedfKNJ+ghU
(4) GZ)X]\&J T2O)HiHX]T2MPO j^6kCl6,m 6,k ;
(5) k n(oqp^rtsvuYw)ryx]z:r|{}{~{. L }E&Y[:o <"wfN }DEN&N|DDq}} n(o¡ DoqD DDoq¢}NEo £ x[ry¤}¥D{¦¥}§¨nWoqD*} oD© £:ª P.
(6)
(7) wf }N«¬&+DNo nWop&rsvuYw)rx[z:rE{{P~{ F GIHJ®KPMNO)Q GR¯O)T2O)GU(V
(8) X[Z)\V]Z)X]J^U._ M VY`°\&Gb±dfKJ&g²U
(9) GZ)X]\&J T2O)HaHX]T2MNO ³*´ µY¶^·0´ ¸´ µY¹µ. £ <N¢:oº x[z }oqDNº. » ¼¾½?¿ÀÂÁÀÃW½ÅÄÇÆ¿Ã<È ÛÀÉY¼¾ÊÜÞË|ÝEÌNßWÍv¼¾ËEÆ:ÎvÏÑàÐ3Ò¼Ó*½ÅÃâÔWÊácÕ}ÖyÆÏѼ¾Ð|Ö|ã<×ã<ؼ¾ÙWÆÚ ¿ ÉYÊË|ÌNÍvËEÎvÏÑÐ3ÒÓ*ÔWÊÕ}ÖyÏÑÐ|Ö|×ØÙWÚ » ¼¾½?¿ÀÂÁÀÃW½ÅÄÇÆ¿Ã<È ÉYÊË|ÌNÍvËEÎvÏÑÐ3ÒÓ*ÔWÊÕ}ÖyÏÑÐ|Ö|×ØÙWÚ nWoqD* DoqDD©D~¥¨wf }©<~ä}ä}å.
(10)
(11) æ ç è¯éëêíì²îïé syIDo DPo ª ®E } }qD ¾Eo
(12) Þ},} "ð< DíP| DoN D < N| oq o E ª ¢}+Iñ
(13) +®]E ÞN E ð< Dí }oq, E } }I qN E} N ¢ov}ñòÂó:D+f} vEI ª oB ôoqI o< Eõ Eo ^ I}D| < | oq*© c+D+ö<Do^o÷¡EDI }}+}D[N q oq}< ñ¡òô^N<] DNE }(ÞP ¾PL}[cN ª c ¢}Þ}D*© õ E2}¦N D oq} ª oE P }DNE,I }DL0o E ª ¢}^ ¢:ooqP ñ. ooqo.
(14)
(15) æ îøúù ûýü þLÿ hÿ ÿýù°éíè s ª DIqoq}®c }DIcI<N¢:oE,syEo< :oq} } E ryuDENDoq N}E Þ }oq¢:oqD¦^ ª¢}NoEENoqD oqDq}I ª © }cÞ}, qoq DD },DEoqD D DE
(16) vP3Nñcs¦ Dqoq}2E" }Dfcf }EI P&Þ} }
(17) EDoq Dq ÂD< oqDED ª ñ¦u}¦ ÞD] E^}EDE }®s&E }}< ón |} < q ND|}*ñ2s¦ }qIE ÞÞ¦D+DN}E) }ówf:Dqqo}E}DóÞ} ª Nr }oqD }"DqDoqDñ s ª Dó Iqoq}2E" }DD }DN2x oq"òô }qoq)Þ¦<ÞD[ EL}õD ª }E ñ n } ^D^qP }s ª DIqoq}®¨< DIcÅ }oqÞ}^ } ª ,DD }oqDcñ. ¢.
(18)
(19) û°ù°é ÿýù éíè »{}¿ñ{ N¼¾ÈW+àN
(20) Poq ½ÅÈ ¿ Eqo%ñ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ ññ ññ ~ñ { Æ:È#L¼!< DN| }Do ñ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ ññ ññ ~ñ{}ñ{ + oL# N| }Do ñ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ ññ ññ ~ñ{}ñ¬~ syI }}oq }c<}NEo W <0DE^Novññ¦ññ ñññ ññ ññ. ~ ñ¬~ x qN3EI D EoqEN} E ñ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ "%$§Dñ{ È(àLÆ:ÜÅo½?¿ão('N oq}ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ{}ñ{ u
(21) oqDoo÷¡ELD/ññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬* ~ DD }I}oEoâñ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬~ñ{ Loqo|DqLñ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬~ñ¬~ ,®DI }D ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬~ñ § £ oL<Noqo- <DD }}Do Eoq} ññ ññ¦ññ ñññ §Dñ § Y}NEo :Dïñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ §Dñ{ #L< D.<oq& E } ./#¦1 02 ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ §Dñ¬~ x qN3E0N ¢ov.ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ å £ }q¢:o2¦I Eoz ññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬% ¤ 3Lo }qoqE ¾Eoq}iññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬¤ñ{ x qN3EryooqN[ñ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬¤ñ¬~ 0,E^ E ª ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬¤ñ § 0,E^<ooqPôñ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ §Dñ¬¤ñ å ,® ®DE|iñ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ 7Æ 68
(22) 9Ü :6 4*å5 ñ> { =¦ND| ¡ENDE ñ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ åñ{}ñ{ ?^N}qoqIñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ åñ{}ñ¬~ 0 } D ¾Eoq}¨oq ñ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ åñ¬~ #¦ 0 ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ åñ¬~ñ{ + ÷¡N3|&Yo÷ NN }D E}oEo ññ ñññ åñ¬~ñ¬~ x D } PNP3E0NovIoqD2| }DDNïñ¦ññ ñññ åñ¬~ñ § A DqI ª o"}D+W }" | ª }B #¦ 0®« âñññ åñ § + x qN3EC 0 ¢:ov7ñ ññ ññ¦ñññ ññ ññ ñññ ññ¦ññ ñññ ¢oqo. ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ. ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ ññ. {. "§ §. å. ¤. &) ). ¥. +. ++. {Pä {Pä {{ {{ {~ {~ {P§ {P§ {P§ <{; ¤ {¤ {8@ 8{8{ ++ 8{8{ ++ ~å.
(23) åñ §Dñ{ òô ¢LÞ3Eo"E }EoqDDñSñ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ ~å åñ §Dñ¬~ 0,} }o} ª o" z EoNEñ ñ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ ~å åñ §Dñ § <NDoqD}
(24) ª P ññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §ä åñ §Dñ å ®N<N< "D I DoDL}EDoqI }oq }<}Eoq }tñ®ñ §~ ¿EÜ 6N½?È<¿6À¿àGFH:¼¾ÆIÈ<¼Pà " ;%¤D ñÈ { 0, qoq}âññ ñññ ññ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §; ¤ ¤ñ{}ñ{ #¦1 0ëññ ñññ ññ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §¤ ¤ñ{}ñ¬~ x[qN E}N ¢ov ñ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §¤ ¤ñ¬~ u ª }EÇññ ñññ ññ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §¤ J PK Æ:ñR{ Ä E½ Q®È< E¿
(25) à E
(26) PEÈ3¼ ED 7Æ PN7Ƽ¾LÈñ6:ñ M¼ ññ
(27) 8ñ(ñ ¼¾NÆñ6 ññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ "O§N& ) wf ¾EEoq } ññ ññ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §N) P ñ¬S~ P +P }ññ¬~{}ññ{± ND}oqDNEoqDññ ññ ññ ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §¥ {±p^<P"D EE
(28) vD oq}< ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ §¥ P ¬ ñ ~ ¬ ñ h ~ P ñ § L¢:o ®D<NP0vE NDT E vD/ñ ñoq}ñ ññññ¦ñ¦ññññ ññññ ññññññ ññññ ñññ¦ñ¦ññññññ ññññ ññññññ §§A¥+ á%U"ƼE½ VD<À N½?È<¿ 6 Lñq{ LEoq¢¾ ¾oqI
(29) D2DEN^No v ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ 4Bå< { D>W0®ñqÜ?Y{XÈ 86 3]NEo }D< oqDZ q*E ¾EN^ñññ¦ññ ññ ñññ ññ ññ¦ñññ ññ ñññ 4 å"å 0®0®ñÑñ¬§[~ Q®q}EE(o W'}Þ}| OD+<DN< NoqDZ < }q¡}E DPëIñ¦ ñDñ oññD]ññDEñ Dñ,ñoqIñ }ñ¦}oqñ ñEñ& ññ Nññoñ tñ®å7å:@¤ ác9½ \YÜŽ?È<ã<¼¾<À ] 4O^.
(30) _ `acbSdfehg i j ù éëêíû% k îïémlLû°ù LDEoóED)q v¨NN }PDNP3EDoINo }<3E}} }DNE ¢} <P qo P }o}qÇoqDoo('P¡ñ +D o('Nõ}c <D| ¢ÂDEDDG: Å } "} ª ¢E{N¥Â}Eoq"DfP Eq N¢}EoP ñS+oq¨< }qN EôD)Å 3IE ¾ EDoqDo¢:o }W P® <qN }® }fD"q}Dn c}oEN"I EE }oq¦:NI © Dc DNqõo EE Do¾©Wotñ ñ ¾7(o 'P¡ñÂ+ÂDNôÅ q oqÇ õ }EõN qqN P}Do8 oI+DoN }c< ¾óN ooq< pDN Pq :/ð N|< Do } DD D© ª Do| }2 IDNE:ô qN }qoqô}| EóPoq}¢ I qq } }DN| ñ®+ð P| oqN ¡DDND}Nr N}N®oq}o ö ª DND vE o& |
(31) ^cD2D ,E}qo ª ¢qD}I}EDqP3E}Wt© svuxwy{z(ñ syõ}|L EN NE }oqE DEN ª ¢2E)}ö<DNqN3E^oq q
(32) § oqNoq :© DYo oqWNPoq|
(33) Dq
(34) L}Dq®< ¢} ®~^oqoq} }E DE©oq } D2 }N|DvoqEN¢}N | D:E0ñ EN+ DoqD ¨ª ó~¨N oq/oq}& }EDõqP3~ ED}o0N o.?~¦ }x+=2Eoq3)ED~ = P â{ }PDD9 = o ôP E qqo2 EEDN ¾E ª Do|ÂoD ¾oq¢q Do }NóõN<N qP3E}< ñuDD oqNPvEN ª ¢oq qDN) }D<Nozf
(35) } NPo }<3E}^P NvE<3P^oq DNE }¡ }"}D^D¢:o ¦D EEE3ED¦oq" N oö<Z . D Do z 23ñ +D^ }oq ¡EDoYDPo]o
(36) E2 zDq}E+ 2oqDq ª *qoqDL DEN]DE}D EDvE)©¾oqD®oqI oq E&<}NEo ¡ EN 2 }DDoqDoq ¾E]qN E} ¾(EDD }D| })E }oq*ñ[(¨}N)¢EDoqDcoqDq ª }< Eo ,< ¾® E N E0 } D ¾E©< })D"N [}ovE® }qD ¾Eo+ EDñL+:NI ª }&ED®ð }EDí<oq }| }3 .H#¦1 02] }I NqN3E ¢:ovñWòôL }q2 E+}D :N | +D "oq} Nñ }}t¨ñ ED®NqN3EcN ¢:o v ª o EN DENE
(37) I }&oqo E ª ¢} N ¢oEoP : `)J^UYMNU Z0V]KNMPO)J syª 0,< E
(38) ~ ª }&ED} ª ED DPª PE ª E^ED ª ¢}]E®:D ª ®DNEE } ª oq }E ©ED"oqC 0, }N&§ D D oq,EDooqDqENcoqI2} }}©. ± ²¢°¡M®!/³ {!! C/hEM /¡ |¢/£¥¤¡¦H§¨¦ª©«¢«!/C¬{M-®{ EM 1!8¯ °®r®{ {.
(39) N» ¿¼¾ÈWàTN½ÅÈ ¿ oqqoqD&ED+:DqoqD^<D&vE)ñ+D+ENDE
(40) }D]N D oq}* }DENP oqq0, }N2åD©Y ôoqq0, Dc¤ ª ¢ }< qo ô}¨oN & E(o Dq ÞDDE ª ñ. .
(41) _ `acbSdfehg ´ µ ¶ ÿ û%긷 ¹Z: º Z)T2OcVYZb beJ®\ `)T2OM\&U syÂoq¦EDNo ª DqDP»< }oqcð ED N|< DoñuD}2}:¢}NDoq ª D¨r I }o(' L2 }<P3E^DPN0Þ}^Do ª }E ñ uD}L ¨}E®ED}E}D0z<ooq02 : z¨<:})ð ED N|< Do½¼ +©({{¾?ñ. ¿À°ÁÂÀÁ ÃÅÄÇÆAȪÉËÊÍÌÄÏÎ1Ð<ÌÑ ÑÓÒBÉXÔÄÏÎÈ°ÉÕÆ #L }DïN|< Do+o }Nf D ¾ENoNñ¦+2ö|v¦}Dcv| ¾EN.Åoqó}{2+E ¾ } oqÞ}EI ¾Eoq}
(42) }+ED oNE Eo(<P~:¨ ª ¢}®ÞD oq}0WED)ñ +D0P }<ÂE P~.Þoq }{2¦E ¾2EDo oqÞ}EI ¾EofoE¢}P qN:õoqDo÷ NN Q®Eo Eo <NE E¨PÖ ñ++2ED^ q P&}oq¢} oqÞ}EI ¾Eoq} T< &D}r NE }|©: } T< +D¦oq¦ D¦}W vE)©ND +N }LD&Po } Þ+DoNoq& } ª oq E Þ}E D¥ 2 oPEñ +D,oq+ < £ |D oqDNð ¾Eoq}2o
(43) LDNE }²]× Nð oq}Þ
(44) D+Eoq} }( 2 }Eoqq ª o E®I }EÂõØ ©:otp D< N~ <}Eoq }OÙ|Þ. ¼7Ú¨Û32 © ª oq|0 ED<oEo0 } EoÜcED oqÛEñ .?~:ñq{82 Ýx~
(45) Þ ØàÖ ß ÖáÅâ Ù|.Þ¼7Ú¨Û2 á uäã ÞÏå á ÛÇæ sy¨EDo
(46) DPo ª &}Dq}o]E ¾Eoq} }2E N© }DNÞ}E© ª ^ }oqDqoÞ2~:ñq{ E¨D Eo¦oqN<N £ |D Do}Nð oq} å .?~:ñÑ~T2 Ýç~MÞ Ø Ö ß Ö á»â Ù|.Þ¼
(47) 2 á uGè á æ ª DNxâoDNDE}}ED }Eoqqñ. ªó¨ë¡ôéìM°BTE¡í8E¬½ê!}¯¬{!/{¯êM©M ñ{½!¬ DZî/¬¬{¬ñ{1Âõ¬¯ /{êM!¢1 ¬{¬8 /{{Tñ¡M/E¬{M/¬{¬{Bª¯ ©Ï{/¬{Mð ï E©8{ ¬{½ÕÜM!{qÇBEM!M°Ïªñ{¢Õò¬°³ ³ °öêM¬{E{B¬}Ü°M¬E¡¯³ §.
(48) Æ:È<¼!. 4. ù ø o+& Do ¦ö<DNðN :oq}õ ÷ ª EoEõ ÷ù ø Ö á uúè á © ª DEcDrû½üMýrþ(ÿ Xþ²ü 0<NE ùø u Ýç~
(49) Þ Ø ß Ö â Ù~.Þ¼
(50) 2 æ .?~ñ §72 J ¿ÀÜ9ÕN½} ÀDÜ+Æ Õ
(51) ] ¼ÆN68N6 ½?È<¿6 syôEDIÞq ª oqD)| }NE ª } }¨}ENDE ª o } qoN YP | Þ}D NDE}õ^ }Eo q¨o f< zô}2oq < E}Do<}Eoq }tñCQ®E ª ª oq[oq¢}cD } qoN ^z:Poq}¨ÞEDôDN/ o qoqEDNÂ<}Eoq } ñ ±u}) < o q®oq ~h z ª oE) ª o:E 0 ) ¨q P©DED zDENEoIÞ+D2NDE} o è u Þ ~MÖ Ø «Ö ÖÖ â ÖÖ Ú .?~ñ åN2 ª E < E®ED¦ ª ð ED :D< NE,D2vE . Ú u {T|Ú ~<EÚ § æÜæÜæ 32 ñ . . . .
(52) . . . . . . . . . u}^ ~ E}Do&oq } ª ¢ ¨}ö+<}NEo Ù~. ÕÚ <2}uxÙ â ~{ Ö â ~{ Ö .?~ñ¬¤A2 ª E Ù o ¨}E }+ No ª Do|"}Dqo |D¦EE }*<}NEo ¡D)}& ª *© EEo^¦ED}0(ED <}NEo oDL ª coqEN oq}ñ¬+Do]}oq¢}P EDE} è uGÙ â â ~{ Þ â â ~{ Þ Ú .?~ñ @72 ª E } oq E"ð }ED :D |}&D)N .EDcDo2oq ED" }0 ¢®ED Þ}qq ª oqD2¢¾ qDP º Ú u<ä ÚP
(53) { Ú|~ ææÜæÜæ 2®© < u Ø Ú u ظæ .?~ñ )T2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . "!. . . . . . "!. . . . ¿¥ÀÁÂÀ¿ TÑÓÄ ÂÈÎÄ ÇÐ<Ò«Î1Ð<ÈÄ ZÄÎ ÉÌ LÒ«Î1Ð nҫνÆ7È¡Ð +2oqI }oq }¨ Eo oq)ð }DïN|< Do ª oqqW }®oqL }P } ]D:oN DNE EoÜ "ooq}^ )
(54) }Eoq
(55) oP ©:oq0D^ ¦qP3E}< ñ D ¼¼Æ:¿ à
(56) Æ¿P6 ½9{ +¦A
(57) D oqqovcDEN^No v}ED2:N o}oq¢}N|: IED ÞD oq} u Ø Þ Ø á Å. ¼M2 ß á Þ. ¼
(58) 2 æ ?. ~ñ ¥72 Ï¡¢«í: ¬¯ <1M!{¯B1ñ 1E§ M{¡êM¦ñ{¢« EMÇE!M} ¨¬{1 {8M¯¡Ïí {/t¡Ü!¬°¡Â íõM M°!¡íT{©7!¢«ªM©!¢«/!ÂEM}¬{1 ¬± ñ{Ï Mܬ{ê8òM-!¬ Ï8õ!© {/²³ ª ¬ ± /E! { ½EMÂò:½³ #. %$. '&)(+*-,. %.. 0/. 1&)&. 2/. (. 3. 4. => F. 65. 87 :9. <;. @? ABA DCE. <GIHKJML.
(59) ² ÜÅÆN
(60) N¼È Ä DÀ ã ¿
(61) ÆAP½E¼ÆN6PÈ<¿
(62) À<PȼM6 ; +DoYEND]oqYA E }oqDN :2oLED^ oq:DovNð ¾Eoq} }D £ |D oqD
(63) Nð ¾r Eo÷.ÞÞ}^ ¨Noq¢¾ ¾EoI]x ð<ñ².?~ñ ¥72E©< P D <ozv Lñ{!2|ñ ON QP. ¹Z¹ KNJ^\V
(64) X]GcbeTQcO)J+VYMN\7X]J^U
(65) GO)T¦V
(66) GX]U syc^ }< Eoq}< ª oc z EoNE ª & ¢ ED&N NEI }1: + c }?ñ²¼ {{¾oq2NP3EI } o(P ¾E}|W< N2 ( ®N ¢:o v}ñ(+D}û {ÿ(ý Mÿ Aü þ B¼ {Nä8¾ Þ+D E<No q },NqN3Eo®ö訩Doq" cD } +o E ª ¢&P ¾E}o .?~:ñ+A2 ß Ö â Ö Ý Ö è uä Þ+ÞPðoP Ö Dq:DN ª o¦u ä } Eo(D qñ £ x ð<ñ²?. ~:ñ+A 2 ENN, Ö}â Ö è¸Bu ä æ t. ~:ñq{Nä72 ß z¡x,© ªðñ²o ?. E~0ñ{PoqäA2 ö<D<o }c óª }qoqº oq ¦Þ 2ED £ |DP oqD}N2Nð oq}ôÞc ó ooqÇ Öß â ~MØCÖ è á uä æ .t~:ñq{}{!2 s o)x ð<ñ²?. ~ñ{PäA,2 }EEN<D Ö Þ oq"x,ðñ²?. ~ñ{{82 <víè EN }D á ñ R. TS. . _. . a`. bdc. gf0hjilk m. n. . po. . q. sr. . x. Õ¢Õ¬°Ç:êM ± /. zy|{~}. gt:u vw. Be. VUW XYZS\[I] I ^.
(67) . Æ:È<¼!.
(68) _ `acbSdfehg . û% ÿ þlù sy EDoW| D ª ª oqq¾DEN*D <}Eoq }E ¾ ª ª oqªq¾ª t©P } ª D ª P I v<oNP¡ñ+ P&Þ}®Dc }qD ¾Eo N EoNoqfu ?Y¥? , +ä©£ oq<I¦ED } ¢:qoqo }N oE ¾E}oq Eoª [DD}qD¨ oqz0ovwó| ¾ÞEn
(69) *Dñ oqDq®ð ED N|< Do } vEI .Þ }Eoqqoõ| z<}Eoq } ©¡ E}oq Eo }qL fE}Do2 I }) Þ ª }DNE{ 2|© ª ª oq¡ Þ}E } D ¾Eoq}]:DNoN qqñ +D¨ö<Eôo Ef }DqED oq:D}vE f foE E E¨vE)©WED }DDq)Dr }D Eó}oEoLoõ¨DoqE E EcvE)ñ òÂcEDô ¢c "I ¾Eoz) }q¢} .Å oq:¢¾ qDDET DqN| 2câ}"EDÂDNoP .Åoq}N¢¾ }N{ 2 D ª ¢}r ÞD<3oq .ÞNor¢}P3E}| ©r?Þ3Eo{ 2|ñ P &DN ª ¢:o< qo+EDP | ñ r: MNU\&X]J+V]M &T¦V]MGcO sy)}|N+I L:DNoN ¡ D ¾oq ª ¢}LIDoqE E E(o 'LD2}oq:D}<vr E)ñ +DNó }õN¢}| ª ¨EÇ }|DoqN¢})oq©+Dõ0 }/ E)D tþ þ Zý .ÅuY¦w 2|© } ED tþ ÿ {ý ¥ý .ÅuYx,w 2|ñ[+D)uYLweoq ¢EoqDq®oqDqN+ "o+¢}NoEDooq¢}}ñ]uYx,w o+ }EDoqDqN < D<|v| *O© DDLo^o&}Eq ^ f}oq¢}PÅ }L D ¾oq,Þ}® oq¢})DENor oq}*ñYsy"Do ª s ¢¦|DNIED öDoo÷¡ELD"D¦¨oE&oqDqo ov© }"EoqN <A DDPñ . p. . Q ) S. K SSOS. SD^UW . SS ^S S. SD^UW . À°ÁÂÀÁ ZÈÎÈÐNÒ È Ò XҫνÉÒËÑúÒÕÐ<Ô sy ED ö<DoÇo÷¡E ED }DÇPfö<DoÇo÷¡EN)E¯P ¾ B}Eo¯} PðoqDoqE } }oqE o ©2u
(70) oqDñ]§ñq{ñ +DN¦ E®¢}NE }DD c D ¾+ED Eoq¢ oq¢}PYoquYLwô©:EDLv+ ¨r . . a/. <. O&. ,/. f E2ö¢ }oqL DzoqI ¾Eoq}0 })EDo2<oq DzoqI ¾Eo*ñ+syfoq ª }E^ED]ö¢[<oq( }DDEzoI oq}&o*<P¡© ª Do|¦P * WD,Eoq¢ oq¢}]N<ND ED¢¾ qD ¾^ ¨}oq¢I }oq . 82+ "oE,ÞD^DP ENDNoq}N<D| ñ. ¢Õ TÕ³ M1¬/}¡!:!Ç-êM}M{ ²öõê! 8¬{õñ T{ õª© ± ê8Ç¢Õ}¢« ¯ XM{Âñ :-EM¬{Ç E! ) D^ . <. \.
(71) $ ÈWàÆ:Ü?½Å¿
(72) ã . 2. 3. 1. a. 3. 2 a. yÖ2ÊÒ Ì âÎvÊÌ Ë }Ë ÒË+ÍyÕ ÏÑÖyÐEË ÍvËÓ Ð|Ë|ÎvË&ÒNÏ |ÖyÌ ÒË ÎvÏÑÌ ÌË|ÎvÏÏÑÌPÐ|Ë*Ê ÎvÎvÊÊÌ Ë+}Ë,ÍvÖÎvÖ Õ}ÊÖÏÑÎvÐ ®ËPÏËE¾Í]Îv[ÓÑËEÏ ÍϬÎvË+ÊcÒNÌÓ ÎvÊÌPË ÎvÏÊ¾Ë Î3×ÏÑÎvËË +}2ÏϬDÍvÒ Ï ËEÐÍvÊË ÓÑËEÎÐEÌ Ë Ì ËEÎvÒÊÍyÕ2Ì Ò ÍyÐEÕ¨(Ì ÉYÒ }ÊϬË^ÎvÏ Ì Ò <Íy,Ív×Ì ËÖy[Ë|ËÖ ÎvÊËÎvË Î ÌNÍ ÌNÍvË+Ï ÌNÍ 2Ò ÎvÏ Ì Ò Ì Î[ÎvÊÏÑÖ +D ö<E+ ª Noq¢¾ ¾Eo¢N o0oq+ }DDEz:oqI oq} E¦}oq¢}N|:© ª o"EN<P3+¨z Ï. ÕÚ t2 Ý o o .ŧDñ!{ 2 ~ å Ö Ï. «Ú t2 Ý~Ö â o o å .ŧDñ¬A~ 2 Ö å } ª o E0EN N3&E¨ å Ï. ÕÚ t2 o ~Ý o .ŧDñ 7§ 2 å Ö Ï. «Ú t2 åÖ Ý~Ö â o o .ŧDñ Nå 2 å P 0Þ} ß Ö ª ¦< ¢} å oâ o Ý å Ö â oâ o Öß Ï. ÕÚ t2 .ŧDñ¬A¤ 2 r¹ GZO)HTX h\&GcO)HfM3V]MGcO)U syó}|®N(EDvE ª ª oqq(DNNf} }D E) }<ooq} .9*ñ¬¾ñ 2|©( } oq¨EDo ª }E ª ®I }}^®}*DE¦o÷ NN[v:<P }B *ñ¬¾ñ©ED¦Loqo|DqrEA© ,^NDI DDr ZKW ¡¢¤£¢¥ B«. ª. §¦. ¯ ³ ¨¯ ¨. ¿¨¨-µ ¿¶¨¯ Å ©. ê. \¨. p©. \¨V¨. ÁÀ¤³. ª¬«. M´ µ \¶. ·¸. :¨. M¨ ©. gÂ. ¹ª. ¿¨. ¿µ ¿¶. . ÈÇ. . ÈÇ. . ý. D^É. Ê . Ê gÇ. Æ. ¯)². ¿¨ ¨Äµ ¿¶¨¯. . ÊÉ. Ê gÇ. DÊ . . DÊ É. ÈÇ. . DÊ . DÊ É. DÊÉ. «. p¨¯V¼T½ ¶ ¾. \¨¯. ^ É. Æ. Ê gÇ. ¶ ª. ª. ®µ \¶ ¨¯. . ^ g . ¨. . %Ì. ¿¨. 1¯ ±°. »T¥. Æ. g. Ë. M¨. M¨. . . . º³. Æ. p ^ g. Æ. ¹¨. ². g. g. ®¨. §¨. . ¿¨.
(73) " ² ácÈL
(74) ¿à
(75) À¼!à}È ¿à
(76) ½9P½ÅÈ ¿6 }ÂD0<Noqo3rnW ñ ñ P E ª I< ¢}I fDÅ } ª o E }D E ¢¾ qD á . ÕÚ t2+ ¾+D }oq . «Ú t2}"2DÅ }ñ. ^. N. jÍ. ^ . ^ g. å. Í. . À/¿ÀÁ äÈ XȪÉtÔ °ÒÕÐ +D LoEo|Dq Â*ñ¬¾ñ D öDP~:c +DLÞD oq}DD ¢}¦ E oqI¢¾ }. 2 ¾ ED< DD }}©D&Nv'NED©Dotñ ñ á . õÚ ª2}u . õÚ ª2 æ Å. §ñ@A2 +D LoEo|Dq Â*ñ¬¾ñ]o,¢}EcN }coN]o2¦å uY¦wôñD+D¦Loqo|DqÂ*ñ ñ]oq EDqoq¢}®I c o}©: }0DN0 } N0Þ}&< | ª q-?. öDN&<}Eoq }¨32 © Þ& zD DqL}"DP}P+}) c o qLo) < z¡ñ À/¿À¿ xÒBÌÑÓÄÎ-Î +D®, DI }D|* ñ¬¾ñYEq[E ¾+¦}EI ¨þ ü Eþ L}(ED¦ÞD3Eoq}0DDr< N' E &D }D<D E©Dotñ ñ á . õÚ ¨2ÂSu ä . õÚ ª2 Å. §ñ )
(77) 2 +DZ^, NDI * ñ¬¾ñ2oLDðDo ®P })0oN®å }®¨Loqo|Dqn* ñ ñ2o ED¦öDo¦o÷ NN L :*©:oqEDo,N } ß Ö-< P N½Å. ¾& 2 }oq+}ED< DD } nãu 2 oÝ å â Ö oâ ~ o Å. §ñ¬¥A2 ß Ö Ï. «Ú t2 so¨DN| ®ôEDf }Eoqq©,otñ ñ©EDqoq¢}0D} EE 3oq¢ñç NN ) oq DN| qovco +o ::c oqN }N ª D0D½ }D Eoq,} D Eo©:Þ} z }Dq^Þ^I ª o}D| <0| oq*ñ . Î. <&. |.. Ï. ^ºÐ Ð. . ÑÏ. Ò. ^ºÐ Ð :Ó. Í. Ô. S Õ ) ÕS. ®Ö ºÐ g Ð. Ò. ºÐ gÐ Ó. Í. Ñ×. ÙØ. ^ g. ÙØ. gÇ. Ø. . Æ. Ù Ø. É. É. . À/¿À 1ÈÑ °Ò Ò XÈ nÈ°É ÂÌ-Î nÄ É ÂÎ nÈ¡Ð<È ÂÎ syD¦ }®}W<Noqo }D E¨}Do Eoq} ª L D+E ¾D¦¢}NEo X<DD } oq2u
(78) oqDñ¬§ñq{]oq(<Noqo¾©Potñ }ñ( ¢¾ qD }2Noq¢¾ ¾Eoq¢}Y} ED, v(}qD ED,oE E }vDE+<DD +Eo]IoEoD+¦v EEo <q¡NLoqoq }D coÇD D¦}2¢¾DL qoqD LoE| }2Dq I}}<* Nñ ooqñ oq¢¾} ¾Eoqo¢}&Noqq oq¢}®Nqö®|+oq}DqqD]EL*oqñY+DDqNL}EWoÜN' }oE } EDcuY¦wô©W } ª }Dq"DP)" }DDz:| I <. }D<D E0 }oqE ª o"EN<P3&cED2®oqEo|Dq }W ñ ñ. ª o hBu äA2 á . Ú ¨2 u á . o Ú ª2 ?. § æ }+ 72 á . Ú 2 u á . o Ú 2 ?. § æ +
(79) L2 ß ¦Ö Þ}+EDo< D }I}oEooâ Å. nãÏu 2 â o o Ýå Ö oâ o Öß Ï. ÕÚ t2 ?. §ñq{Nä72 . . Ú. Û*. Ü*. & ¹,:/. ÞÝ-,. /. '&)(. , 0/. ¹,.
(80) Ï. ^ Ø. Ð. ^. Ö ^Ø. Ð. Ö . g Ð. . ÙØ. gÐ. ß×. g. Æ. Ø. gÇ. . . ÙØ. É. ÙØ. É. .
(81) $ ÈWàÆ:Ü?½Å¿
(82) ã. r Ià. 2G V
(83) J®OcV]MT2Kâb±GIHJ®KNU syED&EI oEENoqD }qD ¾Eo ª ¢} E }Dó <}NEo *EI}D vE)ñY+Do[ }r <®D}D^oqc ª ª ñY+D® | ª } Eo }Do]oqDqEN : }DDq:oqD LoEo|Dq ^ ooqÞ®EDvE)©<oqED2 }oqE^ ¦ EN }"E ED2 }E ª qtñ+:})<}NEo Wo&oqDqNN| :"N D oqD2ED Eo } <oqDf}¨ÞD<3oq*© DoqDfo2EfEDI Eo z¡ñsy ED0:ô Eo D DqóNNE}ôED þ²ü LüMÿ+&EDI Eoz E ÷ P3P¡ñ +Do2N }E ¾D N q oq}cEo oNENo qq< Ö&D ÷ P3P ID2}Dq zovc
(84) D Eo tñ . . á. . DâID. ¥À ÀÁ ÍÊ ÌÄÏÎ1ÐNÌ-Ñ ÂÈ°Î}ÐàÉ ÂÎ1Ð<ÄÏÉOÐ
(85) Ê u}(D¥¦# 10 ª ¢}[<P<} ® |:r ª }t.?N u
(86) oqDñ¬§ñÑ~t.Å 72°2 Eo ^:} Eo }BÅ. ^u
(87) oqDñ¬§ñÑ~t.EL2°23ñY+D® |:r ª }: Eo oq }|Doq¢N :oqD2 ®oqEo|Dq }N+D EE0}o }D?© o Eª oq}D*o|ñ "+oqDo¢:v E0 Eo }Wo& }|Doq¢N|"oqD Dq }DöD r ?. §ñq{}{!2 Ù . «Ú t2uGÙ â w Ù Ö . O2 â w Ù Ö . <2 Ú ª EÂ3 oq ^ E ª oq| EoPW q ª | D,<}NEo tñ«3 .E3 *2 oW ^}E } ª oq| NoqDP¦D0Doq}2}&DE }qoôEDIzä.Þt2oqP3oqÇñ . 22oq }E } ª oq|" EEoqDN,2vEDNE+D2E }DD¦oqED z÷Å. t+2 oqP3oq*ñ . . *-,. k<èéÙê. ,. ^ g. Üã ~äæå2ç. ) . . . ^î . ëìí. ^î . ëìí. . . . ïî . î . Cosh−2 potential. 4. Drain. Source. ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ð ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ñ ð ñ ðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñ ð ñð ñðñ. ¬ Õî¬/ (¢Õ¬{¯. ò pó. Potential [meV]. 3 2. 400. 1. 300 200. 0 100. −1 0. −2. −100 200. −200. 100. 0. −100. −300 x [nm]. −400. −200. ± :õ{½A{¡:E¬{¯ E ë y [nm]. ¿. ò. ó ô. òKõ. ö. ó. Ï DËÍvË ¾Î]ÎtÕ Ë|Ö]Ì ÌNÎvË ¾ÎvÏ ÒNÓ<Ì ¡ÎvÊË +Ô. KIW ¡¢È÷¢¥. M°. ¨. Ù³. ¿©³. ¨. ¿©. 1ø. 'ùò. EMë (|ñ{MM/¬{¬¯t¡¡Eñ¡! ¥ê!Mn¡¬ {TM°Ï¡ ½EM ÇÇE¯ M}½ T/{/¡ñõE ½¬{¯Ç¬°{¥¬{ !¯¬ ±ñ{N¯©B³ ¬{M~!°¡Ü½ nn8 ¥¡ê!¯ -¬{¯¡ê!¯¬{ ú. û. ü.
(88) " Ü4 K È<ÜEVW½Å¿
(89) ã» ÆóÄ À<¼¾½ À À¿ ÒBÉOÐ ÂÎ ÉÄ ¥È¡Ð . L. ^. N. X. ý .. &,. Oþ. (. +DqN E}fN ¢ov0oqL IN ª DN}D }¦ ð }ED ¦ ª Do|) ª 0qN } }}DN3EN¡ñ +DqP }D^ }:DqqN" }LoDöDoND¨o ª oENn"ED} }P}ÂDo<IND } }ENoqfr }o.Ŧc<P}u
(90) ¡oqNñcDñ¬ò§Eoñ¬ X§ .EL.?2° } 2®®¢oq õ<PDD 2E 2 }q EôD ¾ E|o DoqE }© o¦O 2|Nñ+EDsy}NDZ D.Åóo&oqõu
Related documents
Using this framework a software tool is designed, called ProMoVis, which can be used to model a process, to visualize the models together with process construction and control
The primary aim of this study is to assess whether clinician operated bedside ultrasound safely can replace CXR as an adjunct to clinical findings in the decision algorithm for
The main points for this thesis are not only to successfully realize the controllable growth of ZnO nanorods (ZNRs), ZnO nanotubes (ZNTs) and ZnMgO/ZnO heterostructures, but
We also utilized Raman spectroscopy and low temperature PL measurements to identify, for the first time to the best of our knowledge, the surface defect contribution and
Other factors that make these provinces very attractive to renewable energy development are their rel- atively high electricity demand, well developed power systems, heavy reliance
Figure 15: Influence of the electrode boundary conditions on the pressure on the base metal... The temperature calculated for each case is plotted along the symmetry axis in Fig.
Linköping Studies in Science and Technology Dissertation No.. INSTITUTE
With the focus only being on identifying the model from input pressure to vacuum level, test were done using the solenoid valve to control the input pressure and turn it ON and
