• No results found

Silicon Nitride Based Coatings Grown by Reactive Magnetron Sputtering

N/A
N/A
Info
Download
Protected

Academic year: 2021

Share "Silicon Nitride Based Coatings Grown by Reactive Magnetron Sputtering"

Copied!
2
0
0

Loading.... (view fulltext now)

Download now ( 2 Page )

Full text

(1)

Silicon Nitride

Based Coatings

Grown by Reactive

Magnetron

Sputtering

Tuomas Hänninen

Linköping Studies in Science and Technology

Dissertation No. 1901

Tuo

m

as

H

änni

ne

n

Si

lic

on N

itri

de B

as

ed C

oa

tin

gs G

row

n b

y R

ea

cti

ve M

ag

ne

tro

n S

pu

tte

rin

g

20

18

(2)

Tuo

m

as

H

änni

ne

n

Si

lic

on N

itri

de B

as

ed C

oa

tin

gs G

row

n b

y R

ea

cti

ve M

ag

ne

tro

n S

pu

tte

rin

g

20

18

FACULTY OF SCIENCE AND ENGINEERING

Linköping Studies in Science and Technology, Dissertation No. 1901, 2018 Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM)

Linköping University SE-581 83 Linköping, Sweden

References

Download now ( PDF - 2 Page - 23.50 KB )

Related documents

Who is sustainable? Querying the politics of sustainable design practices

Querying the politics of sustainable design practices   83 Environmental sustainability as a political matter; The political and (sustainable) design; Design and the politics

Gastrointestinal illness linked to incidents in drinking water distribution networks in Sweden

Sewage water pipelines on the same level as drinking water pipelines in the trench resulted in a signi ficantly elevated risk of vomiting and AGI when the affected areas were

Arbetsgivares kostnader, åtgärder och anpassningar för sjuknärvarande och sjukfrånvarande medarbetare : samband med återgång i arbete och produktion

Vidare ingick frågor om vilka olika typer av åtgärder och anpassningar på arbetsplatsen som gjorts (ändrade arbetsuppgifter, ergonomiska förbättringar, ombyggnation, ändrad

Is Mobility in the Labor Market a Solution to Sustainable Return to Work for Some Sick Listed Persons?

The two groups with no long-term expectations of health-related ability to stay in the same profession differed in age, and with regard to work conditions, older age was

Tidsbegränsning, en nyckel för effektiv övning? : En kvalitativ studie om trumslagares upplevelser av strukturerad övning

övningsschemat baserades efter Lif men med några tillägg. Pauser inkluderades i schemat, vilket medförde att den sammanhängande övningen aldrig överskred 30 minuter samt

Leveransvägran

Konkurrensrättens syfte är att främja en effektiv konkurrens med särskild hänsyn tagen till konsumenterna. Till viss mån skyddas även konkurrenterna. Den

Access Time Analysis for IEEE P1687

Therefore, this paper analyzes (Sections 4, 5, and 7) the impact of IEEE P1687 on OAT and identifies two types of overhead associated with accessing embedded instru- ments using

Att fastställa den tilltalades ålder : En analys av beviskrav och bevisbörda

96 Dagens Juridik (utg.), ”www.dagensjuridik.se/node/74561”, lydelse 2016-09-29.. beroende av den tilltalades invändning. Möjligen kan detta antagande omfatta även den tillta-