Link¨oping studies in science and technology, Dissertation No. 1388
Deep levels in SiC
Franziska C. Beyer
❐❐
❐❐❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐❐❐❐❐❐❐
❐
❐
❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶
✶
✶
✶
✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
!
!
FranziskaC.BeyerDeeplevelsinSiCLink
¨oping
2011 Semiconductor Materials Division
Department of Physics, Chemistry and Biology Link¨oping 2011
Link¨oping studies in science and technology, Dissertation No. 1388
Deep levels in SiC
Franziska C. Beyer
❐❐
❐❐❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐❐❐❐❐❐❐
❐
❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶
✶
✶✶✶✶
✶✶
✶✶✶✶✶
✶
✶
✶
✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
!
!
FranziskaC.BeyerDeeplevelsinSiCLink
¨oping
2011 Semiconductor Materials Division
Department of Physics, Chemistry and Biology Link¨oping 2011
Link¨oping studies in science and technology, Dissertation No. 1388
Deep levels in SiC
Franziska C. Beyer
❐❐
❐❐❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐❐
❐❐
❐
❐❐
❐❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐
❐
❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶
✶
✶
✶
✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
!
!
FranziskaC.BeyerDeeplevelsinSiCLink
¨oping
2011 Semiconductor Materials Division
Department of Physics, Chemistry and Biology Link¨oping 2011
Link¨oping studies in science and technology, Dissertation No. 1388
Deep levels in SiC
Franziska C. Beyer
❐❐
❐❐❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐❐
❐❐
❐
❐❐
❐❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐
❐
❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶
✶
✶
✶
✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
!
!
FranziskaC.BeyerDeeplevelsinSiCLink
¨oping
2011 Semiconductor Materials Division
Department of Physics, Chemistry and Biology Link¨oping 2011
Link¨oping studies in science and technology, Dissertation No. 1388
Deep levels in SiC
Franziska C. Beyer
❐❐❐❐❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐
❐❐❐❐❐❐❐❐
❐
❐
❐
❐
❐
❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐❐
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶✶✶✶
✶✶
✶✶
✶✶✶✶
✶
✶
✶
✶
✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶✶
!
!
FranziskaC.BeyerDeeplevelsinSiCLink
¨oping
2011 Semiconductor Materials Division
Department of Physics, Chemistry and Biology Link¨oping 2011