En stor del av forskningen och utvecklingen inom det materialvetenskapliga området har varit fokuserad på framtagningen av nya mer hållfasta eller kor-rosionsresistenta legeringar. Dessa material har oftast tillverkats med konvent-ionella tekniker såsom gjutning eller smältning. Majoriteten av ett materials interaktioner med omgivningen sker på dess yta, varför det oftast är tillräckligt att modifiera ytan med en skyddande beläggning för att förbättra materialets egenskaper markant. I många fall är det tillräckligt att använda en beläggning så tunn som 1 till 2 µm (vilket motsvarar ungefär 2% av tjockleken för ett mänskligt hårstrå) för att kunna öka livslängden på ett skärverktyg med upp till hundra gånger, eller för att skydda turbinblad i flygplansmotorer från ter-misk utmattning.
En vanlig metod för att belägga tunna filmer på olika material är ka-todförstoftning, mer känd som sputtring, där man bombarderar det materialet man önskar deponera på sitt substrat med argonjoner (Ar+). Detta resulterar i att materialet förångas och sedan kondenserar på substratytan för att bilda be-läggningen. Genom att ändra processparametrarna i sputtringen kan man på-verka flera materialparametrar, till exempel materialets sammansättning, kornstorlek eller spänningstillstånd. Som framgår av denna avhandling kan man på detta sätt erhålla mycket fördelaktiga materialegenskaper såsom ex-trem hårdhet eller höga korrosionsmotstånd. Det finns flera andra metoder som också kan användas för att deponera tunna beläggningar, till exempel ke-misk ångfasdeponering, även kallad CVD, där man utnyttjar reaktiva gaser för att bilda beläggningen. Gemensamt för dessa tekniker är att de kräver ett va-kuumsystem för att inte de sputtrade atomerna eller de reaktiva gaserna skall interagera med molekylerna i luften.
Att analysera tunna beläggningar kan vara mycket utmanande, bland annat för att det finns väldigt lite material att analysera, därför krävs ytkänsliga och högupplösande analystekniker. I den här avhandlingen har i huvudsak tre olika analystekniker använts vid analysen av beläggningarna: elektronmikroskopi, röntgendiffraktion och nanoindentering. Ett elektronmikroskop använder elektroner som ljuskälla, vilket möjliggör avbildning av material med atomär upplösning. För att studera kristallstrukturen hos de bildade beläggningarna har röntgendiffraktion använts, där röntgenstrålar interagerar med materialet och ger olika mönster beroende på hur atomerna är ordnade. För att studera beläggningarnas mekaniska egenskaper har främst nanoindentering använts.
65 Genom att mäta vilken belastning som krävs för att deformera beläggningen med en diamantspets kan man bestämma hur hårt materialet är.
Alla beläggningar i den här avhandlingen är producerade med mag-netronsputtring, där man använder kraftiga magneter för att få ett tätare plasma av sputtrade atomer och på så vis få en högre beläggningshastighet och tätare beläggningar. De beläggningar som har undersökts är baserade på ett design-koncept för nya material som introducerades år 2004 och som kallas högentro-pilegeringar (HEAs). De är fasta lösningar av fem eller fler element som ter-modynamiskt stabiliseras av en blandingsentropi. Under rätt förutsättningar kommer entropibidraget att vara så stort att det bildas en fast lösning (HEA) istället för en blandning av intermetalliska faser. HEAs har visat sig ha unika egenskaper i bulkform och det finns därför ett stort intresse av att också stu-dera dem som tunna ytskikt. De legeringssystem som stustu-derats i avhandlingen är baserade på CrNbTaTiW samt HfNbTiVZr systemen. Dessa har även lege-rats med kol (C) för att undersöka om man på så vis kan modifiera material-egenskaperna för dessa komplexa legeringar ytterligare. De egenskaper som främst undersökts är hårdhet och duktilitet. I tidigare studier har det visats att korrosionsmotståndet kan förbättras markant när kol adderas till legeringar av värmebeständiga övergångsmetaller.
CrNbTaTiW borde enligt empiriska kriterier i litteraturen kunna bilda en HEA. Termodynamiska beräkningar visar dock att så inte är fallet. De sputt-rade skikten är dock en fast lösning enligt HEA-konceptet vilket visar att de är stabiliserade av kinetik och inte av termodynamik. Genom studera ett lik-nande system, HfNbTiVZr, kan man visa att ytdiffusion under själva sputt-ringsprocessen sannolikt gör att ytbeläggningar kan ge upphov till helt andra fassammansättningar än de som erhålls för bulka material efter att en smälta fått stelna.
Cr-Nb-Ta-Ti-W-C systemet är mycket komplext och ger många möjlig-heter, varför flera enklare sub-system har studerats. I frånvaron av kol uppvi-sade alla de undersökta systemen flera gemensamma egenskaper, exempelvis samma kristallstruktur (kubisk rymdcentrering) och samma mikrostruktur.
Beläggningarna var också mycket hårda, vilket kan förklaras av att de har en väldigt liten kornstorlek, vilket vanligtvis ökar ett materials hårdhet. Den rymdcentrerade kubiska strukturen bevarades även vid legering med kol (upp till 10 atom %) vilket resulterade i en övermättad fast lösning. Detta betyder att kolatomerna tvingas in på platser i kristallen där de inte ”vill” vara. Kol-tillsatsen resulterade även i en mindre kornstorlek, vilket i sin tur ökade be-läggningarnas hårdhet.
Ett viktigt resultat i avhandlingen är att tillsats av kol kan användas för att styra kornstorleken och därmed även de mekaniska egenskaperna. Studier av flera legeringssystem i avhandlingen visar också att övermättnad av kol kan leda till att kolkluster bildas som ytterligare ökar hårdheten. Ett generellt pro-blem när man designar nya hårdmaterial är att dessa också är spröda. I av-handlingen har duktiliteten, dvs. förmågan att deformeras utan sprickbildning,
66
studerats. Resultaten visar att tillsatsen av övermättat kol kraftigt ökar materi-alens duktilitet. Om höga kolhalter tillsätts bildas skikt av metallkarbid. I av-handlingen har (CrNbTaTiW)C legeringar med olika sammansättningar stu-derats. Mycket hårda skikt har framställts som dessutom för vissa samman-sättningar uppvisar extremt höga korrosionsmotstånd.
Sammanfattningsvis kan man dra slutsatsen att ytbeläggningar av multi-komponentlegeringar av värmebeständiga övergångsmetaller har mycket in-tressanta kombinationer av utmärkta mekaniska egenskaper så som hög hård-het och duktilitet, samt höga korrosionsmotstånd och att dessa egenskaper kan förbättras genom tillsats av kol.
67
Acknowledgements
First, I would like to express my sincerest gratitude to my main supervisor Ulf. You have opened the doors of the Ångström laboratory twice for me, and I am very glad that I have the opportunity to perform my research under your guidance. You give me the liberty to pursue my own ideas, but you also twist them into the “right” direction when needed.
I would like to thank my second supervisor Erik for sharing his experiences in experimental work, especially when it comes to the wisdom of Svanslos.
I would like to thank:
• Paulius and Babsi for being my top in-house collaborators.
• Linus and Kristina for making me feel so welcome in Uppsala.
• Dennis for hosting me and for all the great FIB support.
• Lars, it has always been a pleasure to work with you on the TEM
• Jochen and Marcus for your excellent cooperation. You have been great support with your DFT and APT inputs.
• Daniel for your help in the Tandem Laboratory and for your insider knowledge about Swedish University live.
• Leon for all the Mexican fiestas.
• Ming and Jeff for introducing me into the amazing field of small scale mechanics.
• Maciej for the CALPHAD simulation and the collaboration on amorphous metals.
• Mattias, Deodatta and Krystyna for their APT support.
• Fang, Amina and Hanna: it was an honour to share the office with you.
• Ash, David, Maria and Leif for opening Pandora’s box with corrosion science, but luckily most samples survived. It is always a pleasure to work with the CVD group headed by Mats. Martin, Ocean, Victor, Dennis, Johan and Gustav, it is good to see that bulk and thin films work so well together.
• Pedro, one can always count on your help and I am thankful for that.
• Ashok for all the awesome sports conversations.
• Janne and Leif for the great technical support. Many experiments would be not possible without their home build equipment.
• Rebecka and Andreas for their excellent support during beamtimes.
• Jan and Wolfgang for giving me first insights into material sciences.
• A big thank you goes to the inorganic and structural chemistry program.
68
Ich möchte mich auch bei Paul bedanken, ohne die Grundlagen die ich von Dir gelernt habe wäre diese Arbeit nicht möglich gewesen. Dein Name steht hier stellvertretend für die Dünnschichtgruppe an der TU Wien.
Meinen Eltern gebührt doppelt Dank. Sie haben nicht nur das Studium er-möglicht, sondern sie ließen mich schon als Kind in Stockholm den Kin-dergarten besuchen, als wir ein Jahr in Schweden lebten, und erweckten so schon früh mein Interesse für dieses wunderbare Land.
Te amo Ari!!!!
69
References
[1] J. Knaster, A. Moeslang, T. Muroga, Nat. Phys. 12 (2016) 424–434.
[2] R.W. Harrison, Vacuum 160 (2019) 355–370.
[3] J.H. Perepezko, Science (80-. ). 326 (2009) 1068–1069.
[4] D. Coutsouradis, A. Davin, M. Lamberigts, Mater. Sci. Eng. 88 (1987) 11–
19.
[5] R. Darolia, Thermal Barrier Coatings Technology: Critical Review, Progress Update, Remaining Challenges and Prospects, 2013.
[6] Y. Zou, J.M. Wheeler, H. Ma, P. Okle, R. Spolenak, Nano Lett. 17 (2017) 1569–1574.
[7] Y. Zou, H. Ma, R. Spolenak, Nat. Commun. 6 (2015) 7748.
[8] L. Llanes, D. Mari, V. Sarin, Int. J. Refract. Met. Hard Mater. 23 (2005) 1–
15.
[9] H. Okamoto, J. Phase Equilibria 18 (1997) 672–672.
[10] J.D. Fast, J. Appl. Phys. 350 (1952) 42–44.
[11] G.H. Aylward, T.J. V. Findlay, SI Chemical Data, 6th Edition + E-Text Registration Card., John Wiley & Sons, 2013.
[12] B. Gludovatz, S. Wurster, A. Hoffmann, R. Pippan, Int. J. Refract. Met.
Hard Mater. 28 (2010) 674–678.
[13] P. Gumbsch, Science (80-. ). 282 (1998) 1293–1295.
[14] L. Qi, D.C. Chrzan, Phys. Rev. Lett. 112 (2014) 1–5.
[15] I.A. Ovid’ko, R.Z. Valiev, Y.T. Zhu, Prog. Mater. Sci. 94 (2018) 462–540.
[16] Q. Wei, H.T. Zhang, B.E. Schuster, K.T. Ramesh, R.Z. Valiev, L.J.
Kecskes, R.J. Dowding, L. Magness, K. Cho, Acta Mater. 54 (2006) 4079–
4089.
[17] J.B. Mann, T.L. Meek, E.T. Knight, J.F. Capitani, L.C. Allen, J. Am. Chem.
Soc. 122 (2000) 5132–5137.
[18] A. Xu, D.E.J. Armstrong, C. Beck, M.P. Moody, G.D.W. Smith, P.A.J.
Bagot, S.G. Roberts, Acta Mater. 124 (2017) 71–78.
[19] S. Watanabe, S. Nogami, J. Reiser, M. Rieth, S. Sickinger, S. Baumgärtner, T. Miyazawa, A. Hasegawa, Fusion Eng. Des. 148 (2019) 111323.
[20] T. Chookajorn, C.A. Schuh, Acta Mater. 73 (2014) 128–138.
[21] T. Chookajorn, H. a Murdoch, C. a Schuh, C.A.S. Tongjai Chookajorn, Heather A. Murdoch, Science (80-. ). 337 (2012) 951–4.
[22] H.A. Murdoch, C.A. Schuh, J. Mater. Res. 28 (2013) 2154–2163.
[23] H.A. Murdoch, C.A. Schuh, Acta Mater. 61 (2013) 2121–2132.
[24] W. Hume-Rothery, J. Less-Common Met. 4 (1962) 390–392.
[25] W. Hume-Rothery, Acta Metall. 14 (1966) 17–20.
[26] C.H. Schramm, P. Gordon, A.R. Kaufmann, Jom 2 (1950) 195–204.
70
[27] P.E.A. Turchi, V. Drchal, J. Kudrnovský, C. Colinet, L. Kaufman, Z.K. Liu, Phys. Rev. B - Condens. Matter Mater. Phys. 71 (2005) 1–14.
[28] M. Muzyk, D. Nguyen-Manh, K.J. Kurzydłowski, N.L. Baluc, S.L.
Dudarev, Phys. Rev. B - Condens. Matter Mater. Phys. 84 (2011) 1–17.
[29] J.W. Yeh, S.K. Chen, S.J. Lin, J.Y. Gan, T.S. Chin, T.T. Shun, C.H. Tsau, S.Y. Chang, Adv. Eng. Mater. 6 (2004) 299–303.
[30] B. Cantor, I.T.H. Chang, P. Knight, A.J.B. Vincent, Mater. Sci. Eng. A 375–
377 (2004) 213–218.
[31] D.B. Miracle, O.N. Senkov, Acta Mater. 122 (2017) 448–511.
[32] V. Pacheco, G. Lindwall, D. Karlsson, J. Cedervall, S. Fritze, G. Ek, P.
Berastegui, M. Sahlberg, U. Jansson, Inorg. Chem. Volume 58 (2018) acs.inorgchem.8b02957.
[33] O.N. Senkov, D.B. Miracle, Mater. Res. Bull. 36 (2001) 2183–2198.
[34] S. Guo, Q. Hu, C. Ng, C.T. Liu, Intermetallics 41 (2013) 96–103.
[35] M.C. Troparevsky, J.R. Morris, P.R.C. Kent, A.R. Lupini, G.M. Stocks, Phys. Rev. X 5 (2015) 1–6.
[36] N. Yurchenko, N. Stepanov, G. Salishchev, Mater. Sci. Technol. 0836 (2016) 1–6.
[37] M.S. Anzorena, A.A. Bertolo, L. Gagetti, A.J. Kreiner, H.O. Mosca, G.
Bozzolo, M.F. del Grosso, Mater. Des. 111 (2016) 382–388.
[38] E. Fazakas, V. Zadorozhnyy, L.K. Varga, A. Inoue, D. V. Louzguine-Luzgin, F. Tian, L. Vitos, Int. J. Refract. Met. Hard Mater. 47 (2014) 131–
138.
[39] B. Gorr, F. Müller, M. Azim, H.-J. Christ, T. Müller, H. Chen, A.
Kauffmann, M. Heilmaier, Oxid. Met. (2017) 1–11.
[40] V. Alexandrakis, W. Wallisch, S. Hamann, G. Varvaro, J. Fidler, A.
Ludwig, ACS Comb. Sci. 17 (2015) 698–703.
[41] I. Moravcik, J. Cizek, P. Gavendova, S. Sheikh, S. Guo, I. Dlouhy, Mater.
Lett. 174 (2016) 53–56.
[42] B.R. Braeckman, F. Misják, G. Radnóczi, M. Caplovicová, P. Djemia, F.
Tétard, L. Belliard, D. Depla, Scr. Mater. 139 (2017) 155–158.
[43] D. Dou, X.C. Li, Z.Y. Zheng, J.C. Li, Surf. Eng. 32 (2016) 766–770.
[44] S. Gorsse, D.B. Miracle, O.N. Senkov, Acta Mater. 135 (2017) 177–187.
[45] O.N. Senkov, C. Woodward, D.B. Miracle, Jom 66 (2014) 2030–2042.
[46] G. Dirras, L. Lilensten, P. Djemia, M. Laurent-Brocq, D. Tingaud, J.P.
Couzinié, L. Perrière, T. Chauveau, I. Guillot, Mater. Sci. Eng. A 654 (2016) 30–38.
[47] F. Körmann, A. V. Ruban, M.H.F. Sluiter, Mater. Res. Lett. 3831 (2016) 1–
6.
[48] F. Körmann, M.H.F. Sluiter, Entropy 18 (2016).
[49] Y. Zou, S. Maiti, W. Steurer, R. Spolenak, Acta Mater. 65 (2014) 85–97.
[50] X. Feng, J. Zhang, Z. Xia, W. Fu, K. Wu, G. Liu, J. Sun, Mater. Lett. 210
71 [53] B. Gorr, M. Azim, H.J. Christ, T. Mueller, D. Schliephake, M. Heilmaier, J.
Alloys Compd. 624 (2015) 270–278.
[54] J. Jayaraj, C. Thinaharan, S. Ningshen, C. Mallika, U. Kamachi Mudali, Intermetallics 89 (2017) 123–132.
[55] M. Sahlberg, D. Karlsson, C. Zlotea, U. Jansson, Sci. Rep. 6 (2016) 36770.
[56] D. Karlsson, G. Ek, J. Cedervall, C. Zlotea, K.T. Møller, T.C. Hansen, J.
Bednarčík, M. Paskevicius, M.H. Sørby, T.R. Jensen, U. Jansson, M.
Sahlberg, Inorg. Chem. (2018) acs.inorgchem.7b03004.
[57] O. El-Atwani, N. Li, M. Li, A. Devaraj, M. Schneider, D. Sobieraj, J.S.
Wrobel, D.D. Nguyen-Manh, S.A. Maloy, E. Martinez, Sci. Adv. (2018) 1–
10.
[58] T. Chookajorn, M. Park, C.A. Schuh, J. Mater. Res. 30 (2014) 151–163.
[59] H.J. Goldschmidt, J.A. Brand, J. Less-Common Met. 5 (1963) 181–194.
[60] G. Hörz, K. Lindenmaier, R. Klaiss, J. Less-Common Met. 35 (1974) 97–
105.
[61] L. Yang, C. Liu, M. Wen, X. Dai, Y. Zhang, X. Chen, K. Zhang, J. Alloys Compd. 735 (2018) 1105–1110.
[62] D. Scheiber, L. Romaner, R. Pippan, P. Puschnig, Phys. Rev. Mater. 2 (2018) 093609.
[63] D. Scheiber, R. Pippan, P. Puschnig, L. Romaner, Model. Simul. Mater. Sci.
Eng. 24 (2016).
[64] K. Leitner, D. Scheiber, S. Jakob, S. Primig, H. Clemens, E. Povoden-Karadeniz, L. Romaner, Mater. Des. 142 (2018) 36–43.
[65] Z. Li, C.C. Tasan, H. Springer, B. Gault, D. Raabe, Sci. Rep. 7 (2017) 1–7.
[66] N.N. Guo, L. Wang, L.S. Luo, X.Z. Li, R.R. Chen, Y.Q. Su, J.J. Guo, H.Z.
Fu, Intermetallics 69 (2016) 74–77.
[67] Y. Zou, P. Okle, H. Yu, T. Sumigawa, T. Kitamura, S. Maiti, W. Steurer, R.
Spolenak, Scr. Mater. 128 (2017) 95–99.
[68] T. Glechner, S. Kolozsvári, S. Fritze, E. Lewin, V. Paneta, D. Primetzhofer, D. Holec, P.H. Mayrhofer, H. Riedl, Sci. Rep. (2018) 1–11.
[69] H. Riedl, T. Glechner, T. Wojcik, N. Koutná, S. Kolozsvári, V. Paneta, D.
Holec, D. Primetzhofer, P.H. Mayrhofer, Scr. Mater. 149 (2018) 150–154.
[70] M.J. Reece, A. Kovalčíková, J. Dusza, P. Švec, E.G. Castle, R. Sedlák, V.
Girman, T. Csanádi, J. Eur. Ceram. Soc. 38 (2018) 4303–4307.
[71] T. Csanádi, E. Castle, M.J. Reece, J. Dusza, Sci. Rep. (2019) 1–14.
[72] T.J. Harrington, J. Gild, P. Sarker, C. Toher, C.M. Rost, O.F. Dippo, C.
McElfresh, K. Kaufmann, E. Marin, L. Borowski, P.E. Hopkins, J. Luo, S.
Curtarolo, D.W. Brenner, K.S. Vecchio, Acta Mater. 166 (2019) 271–280.
[73] U. Jansson, E. Lewin, Thin Solid Films 688 (2019) 137411.
[74] V. Braic, A. Vladescu, M. Balaceanu, C.R. Luculescu, M. Braic, Surf.
Coatings Technol. 211 (2012) 117–121.
[75] V.F. Gorban’, R.A. Shaginyan, N.A. Krapivka, S.A. Firstov, N.I. Danilenko, I. V. Serdyuk, Powder Metall. Met. Ceram. 54 (2016) 1–6.
[76] R.L. Fleischer, Acta Metall. 11 (1963) 203–209.
[77] G. Bracq, M. Laurent-Brocq, C. Varvenne, L. Perrière, W.A. Curtin, J.M.
Joubert, I. Guillot, Acta Mater. 177 (2019) 266–279.
72
[78] P. Petroff, T.T. Sheng, A.K. Sinha, G.A. Rozgonyi, F.B. Alexander, J. Appl.
Phys. 44 (1973).
[79] Z. Xu, Z. Zhang, M. Bartosik, Y. Zhang, P.H. Mayrhofer, Y. He, J. Alloys Compd. 754 (2018) 257–267.
[80] J.Schiot, F.D.D. Tolla, K.W.Jacobsen, Nature 391 (1998) 561–563.
[81] Z.C. Cordero, B.E. Knight, C.A. Schuh, Int. Mater. Rev. 61 (2016) 495–512.
[82] H. Ma, A.S. Sologubenko, M. Döbeli, K. Sanvito, A. Heusi, K. Pletscher, R.
Spolenak, Acta Mater. 187 (2019) 153–165.
[83] O. El-Atwani, J. Gigax, M. Chancey, J.K.S. Baldwin, S.A. Maloy, Scr.
Mater. 166 (2019) 159–163.
[84] D. Javdošňák, J. Musil, Z. Soukup, S. Haviar, R. Čerstvý, J. Houska, Tribol.
Int. 132 (2019) 211–220.
[85] Y.J. Liang, L. Wang, Y. Wen, B. Cheng, Q. Wu, T. Cao, Q. Xiao, Y. Xue, G. Sha, Y. Wang, Y. Ren, X. Li, L. Wang, F. Wang, H. Cai, Nat. Commun.
9 (2018) 1–8.
[86] T. Takasugi, M. Yoshida, S. Hanada, Acta Mater. 44 (1996) 669–674.
[87] William D Westwood, Sputter Deposition, Education Committee, AVS, 2003.
[88] M. Ohring, Material Science of Thin Films, 2nd Edition, 2002.
[89] K. Schmidt, Bernd, Wetzig, B. Schmidt, K. Wetzig, Ion Beams in Materials Processing and Analysis, Springer-Verlag, 2012.
[90] L. Spieß, G. Teichert, R. Schwarzer, H. Behnken, C. Genzel, Moderne Röntgenbeugung, Vieweg+Teubner, Wiesbaden, 2009.
[91] J. Goldstein, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Third Edit, Springer, 2003.
[92] C.B. Carter, D.B. Williams, Transmission Electron Microscopy, Springer-Verlag, 2009.
[93] S. Hüfner, Photoelectron Spectroscopy, Springer Berlin Heidelberg, 2003.
[94] M.P. Moody, L.T. Stephenson, A. V. Ceguerra, S.P. Ringer, Microsc. Res.
Tech. 71 (2008) 542–550.
[95] W.C. Oliver, G.M. Pharr, J. Mater. Res. 7 (2011) 1564–1583.
[96] Y. Pauleau, P. Gouy-Pailler, Mater. Lett. 13 (1992) 157–60.
[97] J. Janßen, N. Gunkelmann, H.M. Urbassek, Philos. Mag. 96 (2016) 1448–
1462.
[98] Y.-W. You, X.-S. Kong, X.-B. Wu, C.S. Liu, Q.F. Fang, J.L. Chen, G.-N.
Luo, RSC Adv. 5 (2015) 23261–23270.
[99] G. Greczynski, J. Lu, O. Tengstrand, I. Petrov, J.E. Greene, L. Hultman, Scr.
Mater. 122 (2016) 40–44.
[100] H. Li, C. Draxl, S. Wurster, R. Pippan, L. Romaner, Phys. Rev. B 95 (2017) 1–8.
[101] D. Scheiber, L. Romaner, F.D. Fischer, J. Svoboda, Scr. Mater. 150 (2018) 110–114.
[102] A. Takeuchi, A. Inoue, Mater. Trans. 46 (2005) 2817–2829.
[103] J. Häglund, A. Fernndez Guillermet, G. Grimvall, M. Körling, Phys. Rev. B 48 (1993) 11685–11691.
[104] U. Jansson, E. Lewin, Thin Solid Films 536 (2013) 1–24.
73 [105] F.H. Baumann, D.L. Chopp, T. Díaz De La Rubia, G.H. Gilmer, J.E.
Greene, H. Huang, S. Kodambaka, P. O’Sullivan, I. Petrov, MRS Bull. 26 (2001) 182–189.
[106] K. von Fieandt, E.M. Paschalidou, A. Srinath, P. Soucek, L. Riekehr, L.
Nyholm, E. Lewin, Thin Solid Films 693 (2020) 137685.
[107] D. Edström, D.G. Sangiovanni, L. Hultman, I. Petrov, J.E. Greene, V.
Chirita, Acta Mater. 144 (2018) 376–385.
[108] K. Johansson, L. Riekehr, S. Fritze, E. Lewin, Surf. Coatings Technol. 349 (2018) 529–539.
[109] A. Anders, Thin Solid Films 518 (2010) 4087–4090.
[110] F. Otto, A. Dlouhý, K.G.G. Pradeep, M. Kuběnová, D. Raabe, G. Eggeler, E.P.P. George, Acta Mater. 112 (2016) 40–52.
[111] F. Chu, D.P. Pope, Scr. Metall. Mater. 26 (1992) 399–404.
[112] A. Leitner, V. Maier-Kiener, D. Kiener, Adv. Eng. Mater. 19 (2017) 1–9.
[113] J.P. Palmquist, Z. Czigany, M. Odén, J. Neidhart, L. Hultman, U. Jansson, Thin Solid Films 444 (2003) 29–37.
[114] T.G. Nieh, J. Wadsworth, Scr. Metall. Mater. 25 (1991) 955–958.
[115] M. Zhang, B. Yang, J. Chu, T.G. Nieh, Scr. Mater. 54 (2006) 1227–1230.
[116] D. Wu, J. Zhang, J.C. Huang, H. Bei, T.G. Nieh, Scr. Mater. 68 (2013) 118–
121.
[117] K. Takeda, N. Nakada, T. Tsuchiyama, S. Takaki, ISIJ Int. 48 (2008) 1122–
1125.
[118] L. Yang, K. Zhang, M. Wen, Z. Hou, C. Gong, X. Liu, C. Hu, X. Cui, W.
Zheng, Sci. Rep. 7 (2017) 1–8.
[119] C.L. Wang, M. Zhang, J.P. Chu, T.G. Nieh, Scr. Mater. 58 (2008) 195–198.
[120] Y. V. Stulov, V.S. Dolmatov, A.R. Dubrovskiy, S.A. Kuznetsov, Int. J.
Electrochem. Sci. 12 (2017) 5174–5184.